美智庫籲 全面禁止DUV銷陸

大陸晶圓廠加速囤積深紫外光微影設備（DUV），用以生產AI晶片，引發美國智庫呼籲美國及盟友「全面禁止」向大陸出口DUV設備，並加強限制備料供應以及管制維修服務。

美國華盛頓智庫科技與國家治理能力中心（CTS）報告預估，截至今年首季，大陸累計進口343台DUV設備，其中多數可用於生產先進AI晶片。

香港《南華早報》報導，CTS報告由美國前出口管制官員布朗（Nicholas Brown）及前商務部科技政策顧問卡漢（Saif Khan）共同撰寫。因大陸晶片製造商無法取得極紫外光微影設備（EUV），大量採購DUV生產先進半導體。

報告統計自2012年至今年第1季，陸資晶圓廠累計進口343台DUV設備，其中約270台為ASML的NXT:1980i系統，另有28台NXT:2050i及NXT:2100i，以及約45台較舊機型。

報告稱，NXT:1980i雖非最先進機型，但可經調整用於製造7奈米級邏輯晶片及HBM2、HBM2e高頻寬記憶體。並預期在具備充足配套製造設備的大陸晶圓廠，一台NXT:1980i每年可能支援生產逾十萬顆華為昇騰910C等效AI晶片。

荷蘭政府2023年9月起要求NXT:2000i及更先進浸潤式DUV設備出口須取得許可證，2024年9月再將許可證限制範圍擴大至NXT:1970i及NXT:1980i，但NXT:1980i可逐案獲准出口大陸。報告認為，這種做法留下管制漏洞，仍有大量NXT:1980i出口獲准。

報告建議「全面禁止」向大陸出口DUV設備。若盟友無法達成禁令，美國可運用外國直接產品規則等工具，將相關外國製造設備納入出口管制。